[发明专利]散射计量装置及其计量方法有效
| 申请号： | 201110106264.1 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102759332A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 陆海亮;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种散射计量装置及其计量方法，所述散射计量装置及其计量方法包括照明光源系统，该系统在投射系统的瞳面形成1维线形照明光斑；投射系统，将所述照明光斑上的每一点以不同的角度投射到被测对象形成测量光；所述测量光斑经被测对象反射后通过所述投射系统，并在其瞳面形成1维线形反射光斑；分光单元，将反射光斑沿与其线形方向成一夹角的方向分离波长，形成二维散射光普；二维阵列探测器，接收所述二维散射光谱，通过逆向求解法，根据所述二维散射光谱分析获得所述被测对象的形貌。所述散射计量装置及其计量方法能以更快地速度测得对于被测对象敏感的散射光信息，从而提高散射计量的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 散射 计量 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种散射计量装置，其特征在于，包括：光源系统，发出一组线形排列的平行入射光；投射系统，将所述平行入射光的每一束光以不同的入射角入射到被测对象形成测量光斑，所述测量光斑经过被测对象反射后通过所述投射系统形成一组线形排列的平行测量光；分光单元，将所述平行测量光沿与其线性排列方向成一夹角的方向分离波长，形成二维散射光谱，其中，所述二维散射光谱中的一维显示光谱特征，另一维显示角分辨特征；二维阵列探测器，接收所述二维散射光谱。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110106264.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种辣椒粉HPLC指纹图谱的构建方法
- 下一篇：一种外圆弧尺
