[发明专利]光学元件内部缺陷的检测方法及装置无效
| 申请号： | 201110109229.5 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102288622A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 徐建程;王辉;李勇;范长江 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321004 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种光学元件内部缺陷的检测装置，包括：载物台、照明系统和成像系统；其中，所述照明系统相对于载物台的位置按照如下方式设置：在待测光学元件置于载物台上后，照明系统发出的照明光束可以正入射方式照射所述光学元件的表面；所述成像系统设置于所述载物台上光学元件的侧面外，可获取照明系统发出的照明光束在光学元件厚度方向形成的照明截面的二维图像。利用该装置能够实现对光学元件的内部缺陷的检测，而且还能够区分表面缺陷和内部缺陷。本发明还提供一种光学元件的检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 内部 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种光学元件内部缺陷的检测装置，其特征在于包括：载物台、照明系统和成像系统；其中，所述照明系统相对于载物台的位置按照如下方式设置：在待测光学元件置于载物台上后，照明系统发出的照明光束可以正入射方式照射所述光学元件的表面；所述成像系统设置于所述载物台上光学元件的侧面外，可获取照明系统发出的照明光束在光学元件厚度方向形成的照明截面的二维图像。
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