[发明专利]一种钛酸锶钡多层薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201110109667.1 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102229265A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 常青;戴建明;朱雪斌;吴大俊;张伟杰;孙玉平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;C01G23/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛酸锶钡多层薄膜及其制备方法，其主要是将一定的摩尔比的醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁酯溶于醋酸、乙二醇甲醚和乙酰丙酮溶液中分别配制成钡、锶比例不同的稳定前驱胶体，然后在硅基铂金等基片上交替进行匀胶、热处理，直到所需的厚度为止。本发明采用化学溶液沉积方法制备这一钛酸锶钡多层膜结构，获得了具有高调谐率和低的介电损耗的薄膜材料，可应用于微波调谐器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛酸锶钡 多层 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钛酸锶钡多层薄膜，其特征在于：钛酸锶钡多层薄膜是在基片Pt/Ti/SiO2/Si上以Ba0.5Sr0.5TiO3和Ba0.7Sr0.3TiO3的先后顺序制备两个周期，构成(Ba0.7Sr0.3TiO3/Ba0.5Sr0.5TiO3)2/基片形式的多层膜结构。
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