[发明专利]一种基于平面光波导的光传感系统有效
| 申请号： | 201110110547.3 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102759370A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 刘若鹏;孙豪文;栾琳 | 申请（专利权）人： | 深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/34 | 分类号： | G01D5/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于平面光波导的光传感系统，包括集成设置在CMOS芯片上的光传感器和与所述光传感器连接的运算电路，所述光传感器由多个光传感单元阵列而成，所述光传感单元包括波导元件、敏感元件、耦合光栅和PN结，所述敏感元件位于所述波导元件所在平面的上方，所述波导元件和敏感元件组成光波导传感器，所述耦合光栅将所述光波导传感器输出的光信号耦合至所述PN结，所述各光传感单元的PN结组成PN结阵列，所述PN结阵列与所述运算电路连接。其有益效果是，通过CMOS工艺将平面光波导与光传感器集成在同一芯片上，具有结构简单，易于加工和大规模生产的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 平面 波导 传感 系统 | ||
【主权项】：
一种基于平面光波导的光传感系统，其特征在于：所述光传感系统包括集成设置在CMOS芯片上的光传感器和与所述光传感器连接的运算电路，所述光传感器由多个光传感单元阵列而成，所述光传感单元包括波导元件、敏感元件、耦合光栅和PN结，所述敏感元件位于所述波导元件所在平面的上方，所述波导元件和敏感元件组成光波导传感器，所述耦合光栅将所述光波导传感器输出的光信号耦合至所述PN结，所述各光传感单元的PN结组成PN结阵列，所述PN结阵列与所述运算电路连接。
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