[发明专利]金刚石线锯装置有效
申请号: | 201110112869.1 | 申请日: | 2011-04-29 |
公开(公告)号: | CN102225593A | 公开(公告)日: | 2011-10-26 |
发明(设计)人: | 宋京新 | 申请(专利权)人: | 桂林创源金刚石有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人: | 廖世传 |
地址: | 541004 广*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明公开了一种切割硅锭的金刚石线锯装置,由金刚石锯丝相互平行缠绕在成组的导线轮上形成的线网的网面构成多层切割网面,各层切割面上的金刚石锯丝上下对齐,按切割顺序,各层切割网面金刚石锯丝的直径逐渐增大,其中金刚石锯丝的线径逐渐增粗,而其上附着的金刚石磨粒尺寸逐渐减小。本发明采用多组金刚石锯丝切割网面依次切割硅片的方法,将硅片的切割、精磨和抛光分工序由不同性质的金刚石锯丝按不同的运行参数完成,以获得更高的硅材料利用率,满足切割线缝越来越窄、硅片切割朝更薄发展要求。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 装置 | ||
【主权项】:
金刚石线锯装置,包括金刚石锯丝(2),其特征在于:沿切割进给方向,在一个切割工作面中,前后至少布置两条金刚石锯丝(2),或在一个以上相平行的切割工作面中,前后至少布置两组金刚石锯丝(2),同组中的金刚石锯丝(2)相互平行形成一层切割网面;后一条或后一组金刚石锯丝(2)的直径大于或等于前一条或前一组金刚石锯丝(2)的直径。
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