[发明专利]碎硅片漂洗设备无效
| 申请号： | 201110112927.0 | 申请日： | 2011-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN102764742A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 唐威 | 申请（专利权）人： | 镇江仁德新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;H01L21/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;郭迎侠 |
| 地址： | 212200 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碎硅片漂洗设备，包括漂洗槽和与所述漂洗槽连接的用于向漂洗槽内供应纯水的管路，所述漂洗槽的上端设置溢流口，所述管路上连接增加管路内纯水的压力的水泵。本发明的碎硅片漂洗设备具有漂洗时间短、节省用水量、漂洗效果好及漂洗后装袋方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 漂洗 设备 | ||
【主权项】：
一种碎硅片漂洗设备，包括漂洗槽和与所述漂洗槽连接的用于向漂洗槽内供应纯水的管路，所述漂洗槽的上端设置溢流口，其特征在于，所述管路上连接增加管路内纯水的压力的水泵。
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