[发明专利]清洗液组合物无效
| 申请号： | 201110113146.3 | 申请日： | 2011-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102486619A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 白永祥;李晏成;廖玉芬 | 申请（专利权）人： | 台湾永光化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 崔香丹;张永康 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于清洗显影槽的清洗液组合物，包括：(A)1至40重量％的碱金属碱性化合物；(B)0.3至20重量％的非离子性表面活性剂；(C)螯合剂；以及(D)水。本发明清洗液组合物适用于清洗彩色滤光片光刻工序的显影槽及管路，改善显影槽及管路的清洁效果，避免造成光阻剂反沾或在显影过程中影响图案制作，使显影后的彩色滤光片玻璃基板质量稳定，提升工序合格率及降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 组合 | ||
【主权项】：
一种用于清洗显影槽的清洗液组合物，其特征在于，包括：(A)1至40重量％的碱金属碱性化合物；(B)0.3至20重量％的非离子性表面活性剂；(C)螯合剂；以及(D)余量的水。
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