[发明专利]温度、振动自补偿的无源无线声表面波扭矩传感器

摘要

本发明涉及一种适用于无源无线测量转矩的传感器，此传感器具备温度、振动补偿功能。本发明的无源无线扭矩传感器包括四个中心频率不同的声表面波谐振器、小型天线、传感器弹性轴。本传感器的声表面波谐振器，谐振器衬底采用石英，在衬底上沉积制作叉指换能器和反射栅，利用压电效应和逆压电效应进行声表面波的激发和接收。扭矩传感器四个声表面波谐振器按设计角度粘贴于弹性轴，弹性轴施加扭矩时，四个声表面波谐振器可各自检测自身粘贴方向的变形量，四个变形量通过处理方法可以得到温度、振动补偿后的扭矩信息。四个声表面波谐振器与天线连接，可以实现受力状态信息无线传输。本发明结构简单、体积小、重量轻、精度高、无源无线，适用于航空航天、传动机械、精密机床、重型车辆等重要轴类部件扭矩的无源无线测量。

主权项

一种带温度、振动自补偿的声表面波扭矩传感器，其特征在于：它包括四个中心频率不同的声表面波谐振器、小型天线、弹性轴。