[发明专利]大直径单晶炉勾型电磁场装置有效
| 申请号： | 201110114078.2 | 申请日： | 2011-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102154687A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;石刚;叶欣;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州市西湖区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅单晶材料加工设备，旨在提供一种大直径单晶炉勾型电磁场装置。该装置包括用于产生勾型电磁场的直流线圈，该装置包括至少两个充满冷却油的环状密闭容腔，且上下叠加呈中空的圆筒状；每个密闭容腔均由位于外侧的半包围式的屏蔽体、位于内侧的内筒和两块厄板以焊接形式相互连接形成，且通过管路与油泵、油冷却器共同组成强制油冷却系统；密闭容腔中分别设置一组以实心铜管绕制成的直流线圈。本发明由于采用了上下两个线圈平行布置方式，产生的磁力线分布为轴对称，同时磁场强度连续可调，晶棒的轴向径向均匀性得到保证，单晶氧含量控制效果要好。采用二分式结构使用时通过螺栓联接起来，运输、拆卸、安装和调试都更简单、方便。 | ||
| 搜索关键词： | 直径 单晶炉勾型 电磁场 装置 | ||
【主权项】：
大直径单晶炉勾型电磁场装置，包括用于产生勾型电磁场的直流线圈，其特征在于，该装置包括至少两个充满冷却油的环状密闭容腔，且上下叠加呈中空的圆筒状；每个密闭容腔均由位于外侧的半包围式的屏蔽体、位于内侧的内筒和两块厄板以焊接形式相互连接形成，且通过管路与油泵、油冷却器共同组成强制油冷却系统；所述密闭容腔中分别设置一组以实心铜管绕制成的直流线圈。
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