[发明专利]薄膜沉积装置

摘要

本发明提供一种具有一承载盘模块的薄膜沉积装置。在一实施例中，承载盘模块包含一平面式主承载盘与多个卫星承载盘，其中，仅使用单一驱动力驱动主承载盘，即可通过离心力带动卫星承载盘朝径向外侧滑行，使卫星承载盘与设置于主承载盘外侧的一定子摩擦，进而驱动卫星承载盘。

主权项

一种薄膜沉积装置，包括：一反应腔；位于所述反应腔内的一承载盘模块，该承载盘模块用以承载至少一个晶圆，其中，该承载盘模块包含一平面式主承载盘以及一个或多个卫星承载盘，所述主承载盘上方设置有一个或多个所述卫星承载盘，当所述主承载盘旋转时，以离心力带动一个或多个所述卫星承载盘向径向外侧滑行；设置于主承载盘外侧的至少一个定子，当所述主承载盘旋转时，一个或多个所述卫星承载盘被离心力带动向外侧滑行而摩擦所述定子，藉此旋转一个或多个所述卫星承载盘；设置于主承载盘下方的一加热模块，用以加热所述晶圆；以及一驱动模块，用以驱动所述主承载盘旋转。