[发明专利]滚轮式紫外线软压印方法有效
| 申请号： | 201110118347.2 | 申请日： | 2011-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN102183875A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陈沁;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 215513 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种滚轮式紫外线软压印方法，包括以下步骤：1）应用微细加工技术制作硬压印模；2）利用硬压印模翻刻制作软压印模；3）在衬底表面涂覆压印胶；4）利用滚轮线性滚压软压印模，将软压印模上的压印图形压印到衬底表面的压印胶上；5）使用紫外光对压印胶进行充分曝光；6）压印胶完全固化后，剥离软压印模。本发明结合了紫外线压印、软压印和滚轮式压印的优点，克服了普通硬模压印在大面积图形转换中均匀性问题，减小了衬底弯曲和表面不平整的影响，可以实现大尺寸样片的均匀压印，整个工艺过程简单，没有高温高压过程，不需要昂贵的激光器和光学器件，压印时间短，可控性高。 | ||
| 搜索关键词： | 轮式 紫外线 压印 方法 | ||
【主权项】：
一种滚轮式紫外线软压印方法，其特征在于：包括以下步骤：1）应用微细加工技术制作硬压印模；2）利用硬压印模翻刻制作软压印模；3）在衬底表面涂覆压印胶；4）利用滚轮线性滚压软压印模，将软压印模上的压印图形压印到衬底表面的压印胶上；5）使用紫外光对压印胶进行充分曝光；6）压印胶完全固化后，剥离软压印模。
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