[发明专利]一种薄膜制备装置和方法无效
| 申请号： | 201110118767.0 | 申请日： | 2011-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN102776479A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 蒋猛 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;郭迎侠 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜制备装置和方法。所述薄膜制备装置，用于把粉料气化后沉积在衬底上生成薄膜，包括用于对所述粉料加热以形成原子和/或分子蒸气的气相形成装置、用于产生热电子并通过热电子使从气相形成装置输出的原子和/或分子蒸气中的原子或分子带弱电的热电子发生器和用于产生加速电场使带弱电的原子或分子加速运动并沉积至衬底的加速电极。本发明还公开了一种薄膜制备方法。本发明具有如下优点：薄膜可以实现快速沉积，成膜质量高、膜层致密、附着力强、结晶性强，对衬底及薄膜损伤小，便于控制成膜的过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜制备装置，用于把粉料气化后沉积在衬底上生成薄膜，其特征在于，包括用于对所述粉料加热以形成原子和/或分子蒸气的气相形成装置、用于产生热电子并通过热电子使从所述气相形成装置输出的所述原子和/或分子蒸气中的原子或分子带弱电的热电子发生器和用于产生加速电场使带弱电的所述原子或分子加速运动并沉积至所述衬底的加速电极。
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