[发明专利]蚀刻酸废液处理系统、蚀刻酸废液处理装置及适用于该系统与装置的蚀刻酸废液处理方法无效
| 申请号： | 201110119469.3 | 申请日： | 2011-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102249449A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 氷见·英树;普察拉帕里·瑞迪·史林瓦苏鲁;安部·正泰;矶·明典 | 申请（专利权）人： | 环保股份有限公司;芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 日本富山县*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是通过蚀刻酸废液处理循环流道(5)来连续进行使用过滤器(2)去除固形物的固形物去除工序、及使用金属阳离子交换树脂塔(3)去除作为金属离子的金属阳离子的金属阳离子去除工序，在金属阳离子去除工序的上游侧进行固形物去除工序，并进一步进行金属阳离子去除工序之后，在蚀刻酸废液处理循环流道(5)的下游侧，进行使用螯合形成纤维或螯合形成树脂来至少去除B(硼)的金属阴离子去除工序，藉此即可通过蚀刻酸废液处理循环流道(5)来连续循环再利用蚀刻酸废液。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 废液 处理 系统 装置 适用于 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻酸废液处理系统，其特征在于，具有将蚀刻酸废液再生为再生蚀刻酸的再生装置，并将使用该再生装置而再生的该蚀刻酸循环再利用于蚀刻中，其中该蚀刻酸废液是将蚀刻酸使用于蚀刻后排放的废液。
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