[发明专利]基于相移干涉的球体直径绝对精密计量系统及其方法无效
| 申请号： | 201110121207.0 | 申请日： | 2011-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN102288120A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吴学健;张继涛;李岩;尉昊赟 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08;G01B9/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于相移干涉的球体直径绝对精密计量系统及其方法，包括相互连接的可调谐激光器、保偏光纤系统、激光频率锁定系统、激光频率溯源系统以及球体直径干涉仪；该发明采用基于可调谐激光器的频率扫描而进行干涉相位控制的方法，避免了压电陶瓷用于干涉相位控制时引起的机械振动和非线性现象，提高了相移控制的精确度；加上采用法布里-珀罗腔，将输出激光频率锁定至法布里-珀罗腔的透射峰上，严格保证了异步采样相移算法要求的等步长相移假设，提高了相移算法的计算精确度；另外还采用基于飞秒光频梳系统的激光频率溯源系统，将可调谐激光器的输出激光频率溯源至微波频率基准，从而使得待测球体的直径测量结果具有计量学意义。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 相移 干涉 球体 直径 绝对 精密 计量 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种基于相移干涉的球体直径绝对精密计量系统，其特征在于：包括可调谐激光器(1)，该可调谐激光器(1)的输出端接入保偏光纤系统(2)，所述的保偏光纤系统(2)通过保偏光纤(203)同激光频率锁定系统(3)、激光频率溯源系统(4)以及球体直径干涉仪(5)分别相连接，所述的激光频率锁定系统(3)还同可调谐激光器(1)通信连接，激光频率锁定系统(3)、激光频率溯源系统(4)以及球体直径干涉仪(5)同计算机(6)通信连接。
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