[发明专利]一种柔性基板的制备方法和柔性基板无效
申请号: | 201110121386.8 | 申请日: | 2011-05-11 |
公开(公告)号: | CN102480846A | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 刘若鹏;王文剑;赵治亚;王书文;法布里齐亚 | 申请(专利权)人: | 深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司 |
主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06;H05K1/02;H05K1/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种柔性基板的制备方法和柔性基板,该方法包括:在柔性树脂上形成一层金属箔;在所述金属箔上涂覆一层光刻胶,根据预设的金属微阵列结构对所述光刻胶进行光刻;在所述金属箔上成型出光刻后的图形;去除涂覆在所述金属箔上的光刻胶,得到具有所述金属微阵列结构的柔性基板。本发明另一实施例还提供了一种柔性基板。以实现在超材料加工过程中基板能够弯曲和折叠。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性基板的制备方法,其特征在于,所述方法包括:在柔性树脂上形成一层金属箔;在所述金属箔上涂覆一层光刻胶,根据预设的金属微阵列结构对所述光刻胶进行光刻;将光刻胶上光刻后形成的图形转移到所述金属箔上;去除涂覆在所述金属箔上的光刻胶,得到具有所述金属微阵列结构的柔性基板。
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