[发明专利]一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备无效
申请号: | 201110122268.9 | 申请日: | 2011-05-12 |
公开(公告)号: | CN102775072A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 冯涛;金军 | 申请(专利权)人: | 江苏华尔光电材料股份有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 徐激波 |
地址: | 225600 江苏省扬州市高邮市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,包括PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器,水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,水容器和混合液容器之间设有第一阀门和第一泵,浓酸容器和混合液容器之间设有第二阀门和第二泵,混合液容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵和第三阀门,第二出水管上设有第四阀门。本发明在使用时,通过向混合液容器里加水和浓酸配制所需浓度的酸溶液,整个过程通过PLC控制系统完成,并且通过HMI画面进行显示,可以有效监控酸溶液浓度,并且能够提高工作效率和保障人身安全,有利于推广使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 石英 坩埚 清洗 自动 设备 | ||
【主权项】:
一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,其特征在于:包括PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器,所述水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,所述的水容器和混合液容器之间设有第一阀门(1)和第一泵(2),所述的浓酸容器和混合液之间设有第二阀门(4)和第二泵(5),所述的混合容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵(7)和第三阀门(8),第二出水管上设有第四阀门(9)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏华尔光电材料股份有限公司,未经江苏华尔光电材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110122268.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:网关及其避免受攻击的方法
- 下一篇:便于安装的螺旋输送机