[发明专利]一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备无效

专利信息
申请号: 201110122268.9 申请日: 2011-05-12
公开(公告)号: CN102775072A 公开(公告)日: 2012-11-14
发明(设计)人: 冯涛;金军 申请(专利权)人: 江苏华尔光电材料股份有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 徐激波
地址: 225600 江苏省扬州市高邮市经*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,包括PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器,水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,水容器和混合液容器之间设有第一阀门和第一泵,浓酸容器和混合液容器之间设有第二阀门和第二泵,混合液容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵和第三阀门,第二出水管上设有第四阀门。本发明在使用时,通过向混合液容器里加水和浓酸配制所需浓度的酸溶液,整个过程通过PLC控制系统完成,并且通过HMI画面进行显示,可以有效监控酸溶液浓度,并且能够提高工作效率和保障人身安全,有利于推广使用。
搜索关键词: 一种 用于 石英 坩埚 清洗 自动 设备
【主权项】:
一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,其特征在于:包括PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器,所述水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,所述的水容器和混合液容器之间设有第一阀门(1)和第一泵(2),所述的浓酸容器和混合液之间设有第二阀门(4)和第二泵(5),所述的混合容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵(7)和第三阀门(8),第二出水管上设有第四阀门(9)。
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