[发明专利]一种电子级多晶硅生产设备及工艺管道的清洗方法

摘要

本发明公开了一种电子级多晶硅生产设备及工艺管道的清洗方法，包括步骤：1.脱脂清洗；2.水冲洗；3.络合除锈：采用络合清洗剂进行除锈清洗；4.漂洗；5.氨塞冲洗：采用氨水溶液且在55℃～60℃温度条件下进行冲洗；6.钝化处理：采用双氧水溶液且在80℃～90℃温度条件下进行钝化处理；7.超纯水冲洗：用电阻率不大于12MΩ·cm的超纯水，进行冲洗；8.干燥处理：采用压缩空气干燥设备进行干燥处理；9.包封。本发明设计合理、清洗方法步骤简单、操作简便且实现方便、清洗效果好，不会形成过腐蚀及氢脆，能解决现有清洗方法存在的易造成过腐蚀、钝化膜表面易残留Na离子、P离子等问题。

主权项

一种电子级多晶硅生产设备及工艺管道的清洗方法，其特征在于该方法包括以下步骤：步骤一、脱脂清洗：采用金属脱脂清洗剂且按金属设备与金属管道的常规脱脂清洗方法，对被清洗金属物件进行脱脂清洗；所述被清洗金属物件为多晶硅生产设备或多晶硅工艺管道；步骤二、脱脂后水冲洗：采用自来水对被清洗金属物件进行冲洗；步骤三、络合除锈：采用络合清洗剂对被清洗金属物件进行除锈清洗；步骤四、漂洗：采用漂洗剂对被清洗金属物件进行漂洗；步骤五、氨塞冲洗：采用氨水溶液且在55℃～60℃温度条件下，对被清洗金属物件进行冲洗；步骤六、钝化处理：采用双氧水溶液且在80℃～90℃温度条件下，对被清洗金属物件进行钝化处理；步骤七、超纯水冲洗：用电阻率不大于12MΩ·cm的超纯水，对被清洗金属物件进行冲洗；步骤八、干燥处理：采用压缩空气干燥设备且按常规压缩空气干燥处理方法，对被清洗金属物件进行干燥处理；步骤九、包封：对经干燥处理且质量检查合格后的被清洗金属物件，进行封口保护。