[发明专利]一种利用保护层形成光电元件的方法

摘要

本发明揭露一种利用保护层形成光电元件的方法。本发明在有机电激发光材料上生成一层无反应性材料的超薄保护层，阻绝制程环境中溶剂或气体与材料之直接接触，使材料得以利用光微影技术形成图样，形成有机发光二极体(OLED)显示器之像素。此保护层的厚度极小，在完成後不需由材料表面除去，可留存为显示器之一部分。由于此保护层的超薄厚度，对显示器性能并无负面影响，甚至有提升显示器性能的功效。

主权项

一种利用保护层形成光电元件的方法，至少包含：提供一基板；涂布一第一电激发光材料於该基板表面上成为一第一发光层；形成一第一保护层於该第一发光层上；进行第一图样制程，形成一第一光阻层於该第一保护层上，形成一第一光罩，藉以在该第一光阻层上定义出所需图样，曝光除去部份该第一光阻层，留存一其余的该第一光阻层；除去部分之该第一保护层，系无该第一光阻层所遮蔽；蚀刻该第一发光层；去除该其余的该第一光阻层，且该第一发光层仍受该第一保护层保护。