[发明专利]一种薄膜晶体管液晶显示器的像素结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管液晶显示器的像素结构及其制造方法，用以减少掩膜次数，简化工艺流程，节约成本。该方法为：在基板上依次溅镀像素电极薄膜和钝化绝缘层薄膜，采用第一掩膜板进行掩膜曝光后再进行刻蚀，形成像素电极、钝化绝缘层和漏极过孔，然后依次溅镀源、漏极薄膜和欧姆接触层薄膜，采用第二掩膜板进行掩膜曝光后再进行刻蚀，形成源极、漏极、源漏沟槽以及覆盖在源极和漏极之上的欧姆接触层，再依次溅镀有源层薄膜、绝缘层薄膜和栅极薄膜，采用第三掩膜板进行掩膜曝光后再进行刻蚀，形成有源层、绝缘层、栅极以及源极驱动过孔。本发明同时公开了一种薄膜晶体管液晶显示器的像素结构。

主权项

一种薄膜晶体管液晶显示器的像素结构，其特征在于，包括：一像素电极和钝化绝缘层，像素电极形成在基板上，其上覆盖钝化绝缘层，该钝化绝缘层包含一漏极过孔，该漏极过孔连接漏极和所述像素电极；一源极、漏极，形成在基板上，其中，覆盖在钝化绝缘层的漏极部分，通过所述漏极过孔与像素电极相连，所述源极和漏极之间通过源漏沟槽隔开；一欧姆接触层和有源层，在源极和漏极覆盖的区域上形成欧姆接触层，并在基板、欧姆接触层、像素电极上覆盖有源层，所述有源层覆盖所述源漏沟槽，连接所述源极和漏极；一绝缘层和栅极，在有源层之上依次覆盖绝缘层和栅极；一源极驱动过孔，截断覆盖在源极之上的欧姆接触层、有源层、绝缘层和栅极，该源极驱动过孔连接所述源极和源极驱动。