[发明专利]一种有机薄膜晶体管阵列基板及其制造方法

摘要

本发明公开了一种有机薄膜晶体管阵列基板及其制造方法，该方法包括：在基板上先形成栅电极与栅线图形，接着形成有机半导体薄膜晶体管OTFT半导体层图形，然后通过一次构图工艺形成源电极、漏电极、OTFT沟道、数据线以及像素电极图形，最后形成栅线接口区域和数据线接口区域。本发明在一次构图工艺中使用一块掩模板图形完成源电极、漏电极、数据线以及像素电极的构图，减少了制造过程中构图次数，提高了有机薄晶体管阵列基板的制造效率，降低了生产成本。

主权项

一种有机薄膜晶体管阵列基板的制造方法，其特征在于，包括：在基板上形成栅电极与栅线图形；形成有机半导体薄膜晶体管OTFT半导体层图形；通过一次构图工艺形成源电极、漏电极、OTFT沟道、数据线以及像素电极图形；形成栅线接口区域和数据线接口区域。