[发明专利]面板、形成面板的方法、薄膜晶体管和显示面板有效

专利信息
申请号: 201110125831.8 申请日: 2011-05-09
公开(公告)号: CN102237373A 公开(公告)日: 2011-11-09
发明(设计)人: 柳慧英;李进元;李禹根;卞喜准;朱迅 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L29/786;H01L21/77;H01L21/336
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 韩明星;刘奕晴
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供了一种面板、一种形成面板的方法、一种薄膜晶体管和一种显示面板。一种包括薄膜晶体管的面板包括:基底;光阻挡层,位于所述基底上;第一保护膜,位于所述光阻挡层上;第一电极和第二电极,位于所述第一保护膜上;氧化物半导体层,位于所述第一保护膜的在所述第一电极和所述第二电极之间暴露的部分上;绝缘层;第三电极,与所述氧化物半导体层叠置,且位于所述绝缘层上;第四电极,位于所述绝缘层上。所述光阻挡层包括第一侧壁,所述第一保护膜包括第二侧壁。所述第一侧壁和所述第二侧壁沿基本相同的线设置。
搜索关键词: 面板 形成 方法 薄膜晶体管 显示
【主权项】:
一种包括薄膜晶体管的面板,所述面板包括:基底;光阻挡层,位于所述基底上,所述光阻挡层包括第一侧壁;第一保护膜,位于所述光阻挡层上,所述第一保护膜包括第二侧壁;第一电极和第二电极,位于所述第一保护膜上,所述第一电极包括第三侧壁,所述第二电极包括第四侧壁,并且所述第二电极与所述第一电极隔开;氧化物半导体层,位于所述第一保护膜的在所述第一电极和所述第二电极之间暴露的部分上,并位于所述第一电极和所述第二电极的至少一部分上;绝缘层,位于所述氧化物半导体层、所述第一电极、所述第二电极、所述第一侧壁、所述第二侧壁、所述第三侧壁和所述第四侧壁上;第三电极,与所述氧化物半导体层叠置,并位于所述绝缘层上;第四电极,位于所述绝缘层上,所述第四电极连接到所述第二电极,其中,所述第一侧壁的至少一部分和所述第二侧壁的至少一部分沿基本相同的线设置。
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