[发明专利]面板、形成面板的方法、薄膜晶体管和显示面板有效
申请号: | 201110125831.8 | 申请日: | 2011-05-09 |
公开(公告)号: | CN102237373A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 柳慧英;李进元;李禹根;卞喜准;朱迅 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L29/786;H01L21/77;H01L21/336 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩明星;刘奕晴 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了一种面板、一种形成面板的方法、一种薄膜晶体管和一种显示面板。一种包括薄膜晶体管的面板包括:基底;光阻挡层,位于所述基底上;第一保护膜,位于所述光阻挡层上;第一电极和第二电极,位于所述第一保护膜上;氧化物半导体层,位于所述第一保护膜的在所述第一电极和所述第二电极之间暴露的部分上;绝缘层;第三电极,与所述氧化物半导体层叠置,且位于所述绝缘层上;第四电极,位于所述绝缘层上。所述光阻挡层包括第一侧壁,所述第一保护膜包括第二侧壁。所述第一侧壁和所述第二侧壁沿基本相同的线设置。 | ||
搜索关键词: | 面板 形成 方法 薄膜晶体管 显示 | ||
【主权项】:
一种包括薄膜晶体管的面板,所述面板包括:基底;光阻挡层,位于所述基底上,所述光阻挡层包括第一侧壁;第一保护膜,位于所述光阻挡层上,所述第一保护膜包括第二侧壁;第一电极和第二电极,位于所述第一保护膜上,所述第一电极包括第三侧壁,所述第二电极包括第四侧壁,并且所述第二电极与所述第一电极隔开;氧化物半导体层,位于所述第一保护膜的在所述第一电极和所述第二电极之间暴露的部分上,并位于所述第一电极和所述第二电极的至少一部分上;绝缘层,位于所述氧化物半导体层、所述第一电极、所述第二电极、所述第一侧壁、所述第二侧壁、所述第三侧壁和所述第四侧壁上;第三电极,与所述氧化物半导体层叠置,并位于所述绝缘层上;第四电极,位于所述绝缘层上,所述第四电极连接到所述第二电极,其中,所述第一侧壁的至少一部分和所述第二侧壁的至少一部分沿基本相同的线设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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