[发明专利]光学投影系统

摘要

一种光学投影单元，包括第一光学元件模块和至少一个第二光学元件模块。第一光学元件模块包括第一外壳单元和至少第一光学元件，第一光学元件容纳在所述第一外壳单元内并具有限定第一光轴的光学用途第一区域。至少一个第二光学元件模块位于所述第一光学元件模块附近，并包括至少一个第二光学元件，所述第二光学元件限定光学投影单元的第二光轴。第一外壳单元具有中央第一外壳轴线以及围绕着所述第一外壳轴线沿着圆周方向延伸的外壁。第一光轴相对于所述第一外壳轴线横向偏置和/或倾斜。另外，第一外壳轴线与第二光轴基本上共线。

主权项

一种支撑微光刻系统的透镜单元的支撑单元，它包括：用于部分地接收光路的外壳，所述外壳包括至少第一接口和第二接口，所述第一接口是用于支撑包括多个透镜的细长第一透镜单元的第一支撑接口，所述第二接口是用于支撑包括多个透镜的细长第二透镜单元的第二支撑接口，所述外壳适于基本上支承所述细长第一透镜单元和所述细长第二透镜单元的负载，所述外壳由陶瓷材料制成。