[发明专利]一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置无效
| 申请号： | 201110127030.5 | 申请日： | 2011-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN102169218A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;巩岩;张巍;倪明阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，它解决现有光学元件轴向调整装置轴向调整时引起径向误差的问题，本发明从整体上可以看作物镜的一个镜筒单元，通过轴孔精密配合将镜座放入镜筒中；将滑架安装在镜筒外圆柱面上，镜座对镜框组件进行调心，并通过导钉实现滑架与内部镜框组件的连接。三个压电驱动器同时推动滑架，进而带动镜框和光学元件轴向前进，弹簧提供滑架轴向后退的恢复力。轴向调整行程的任一位置，均可以通过精密调整螺旋测微仪和导钉实现对光学元件的调心。本发明具有调整行程大、调整精度高、操作方便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 功能 光学 元件 轴向 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置，包括光学元件(1)、镜框(2)、镜座(3)、镜筒(4)、滑架(5)、三个压电驱动器(6)、三个压电驱动器座(7)、三个螺旋测微仪(8)、三个导钉(10)和弹簧(9)，所述镜座(3)设置在镜筒(4)内，镜框(2)设置在镜座(3)内，所述光学元件(1)设置在镜框(2)内；其特征是，所述滑架(5)安装在镜筒(4)的上阶梯圆柱面上，所述三个螺旋测微仪(8)穿过滑架(5)外圆柱面上设置的三个螺旋测微仪滑架孔(5‑2)、镜筒(4)上阶梯圆柱面上设置的三个螺旋测微仪镜筒腰形孔(4‑1)和镜座(3)圆柱面上设置的三个螺旋测微仪镜座腰形孔(3‑2)，三个导钉(10)通过滑架(5)外圆柱面上设置的三个导钉滑架孔(5‑3)、镜筒(4)上阶梯圆柱面上设置的三个导钉镜筒腰形孔(4‑2)、镜座(3)圆柱面上设置的三个导钉镜座腰形孔(3‑3)和镜框(2)外圆柱面上设置的三个导钉螺纹孔(2‑2)进行螺纹连接；所述三个压电驱动器(6)固定在三个压电驱动器座(7)上，所述三个压电驱动器座(7)安装在镜筒(4)下阶梯圆柱面的三个安装基准面(4‑3)上，所述弹簧(9)的一端固定在镜筒(4)的外圆柱面上，另一端固定在滑架(5)上。
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