[发明专利]光学系统波像差检测装置

摘要

光学系统波像差检测装置，涉及光学测量技术领域，它解决现有光学系统波像差检测装置在移相过程中存在偏摆误差和横移误差的问题，本发明的分光系统出射的两束共光路的正交线偏振光经过第二偏振分光棱镜分光，参考光和测试光经过第一耦合透镜和第二耦合透镜耦合到带有电动偏振控制器的参考光纤和测试光纤中，测试光纤出射的光经被检光学系统照射到参考光纤的镀膜端面上反射，调整第一角锥棱镜使测试球面波与参考球面波产生干涉，采用压电陶瓷移动对偏摆误差不敏感的第二角锥棱镜实现移相过程，第二平面反射镜使得对移相过程中的横移误差不敏感，利用光电探测器采集干涉图，送入计算机利用移相算法进行数据处理和分析。获得被检光学系统波像差。

主权项

光学系统波像差检测装置，该装置包括分光系统、第二偏振分光棱镜(12)、第一耦合透镜(13)、第二耦合透镜(14)、参考光纤(15)、测试光纤(16)、第一电动偏振控制器(17)、第二电动偏振控制器(18)、被检光学系统(19)、光电探测器(20)、计算机(21)；其特征是，所述分光系统包括激光器(1)、中性密度滤光片(2)、二分之一波片(3)、第一偏振分光棱镜(4)、第一四分之一波片(5)、第二四分之一波片(6)、第一角锥棱镜(7)、第二角锥棱镜(8)、第一平面反射镜(10)、第二平面反射镜(11)；所述激光器(1)出射的光束经中性密度滤光片(2)、二分之一波片(3)和第一偏振分光棱镜(4)后，分成两束正交的线偏振光，第一束线偏振光经过第一偏振分光棱镜(4)的水平方向的第一四分之一波片(5)和第一角锥棱镜(7)后，经第一平面反射镜(10)反射至第一偏振分光棱镜(4)；第二束线偏振光经过第一偏振分光棱镜(4)垂直方向的第二四分之一波片(6)和第二角锥棱镜(8)后，经第二平面反射镜(11)反射至第一偏振分光棱镜(4)，所述第一偏振分光棱镜(4)出射的两束光经过第二偏振分光棱镜(12)后分光，参考光束经第一耦合透镜(13)耦合到参考光纤(15)中，测试光束经第二耦合透镜(14)耦合到测试光纤(16)中，所述第一电动偏振控制器(17)和第二电动偏振控制器(18)分别控制参考光束和测试光束的偏振态，所述测试光纤(16)出射的光束经被检光学系统(19)聚焦到参考光纤(15)的出射端面上，光电探测器(20)接收测试光纤(16)出射的测试光束和参考光纤(15)端面反射的参考光束的干涉图，将干涉图传送至计算机(21)，获得光学系统波像差。