[发明专利]辅助图案工具的匹配方法无效
| 申请号： | 201110128102.8 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102737139A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 傅国贵;陈逸男;刘献文 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种辅助图案工具的匹配方法包括以下步骤：依据一特定测试布局(layout)以一第一辅助图案工具产生一目标辅助图案；依据该特定测试布局以一第二辅助图案工具产生一对比辅助图案；及比较该对比辅助图案与该目标辅助图案，以决定接受或拒绝该第二辅助图案工具。本发明辅助图案工具的匹配方法，用以评估新版本或新开发的辅助图案工具的操作是否友善。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助 图案 工具 匹配 方法 | ||
【主权项】：
一种辅助图案工具的匹配方法，其特征在于：该匹配方法包括以下步骤：依据一特定测试布局(20)以一第一辅助图案工具产生一目标辅助图案(30)；依据该特定测试布局(20)以一第二辅助图案工具产生一对比辅助图案(40)；及比较该对比辅助图案(40)与该目标辅助图案(30)，以决定接受或拒绝该第二辅助图案工具。
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