[发明专利]具有智能测控技术的固体材料二次电子发射系数测试装置

摘要

本发明的具有智能测控技术的固体材料二次电子发射系数测试装置，包括机械系统、电气控制系统和分析检测系统；所述机械系统包括真空室、真空泵、电子枪、电子收集装置和加热装置，以提供真空环境、产生并收集二次电子；所述电气控制系统包括电源、可编程控制器和温控电路，可编程控制器通过数字量模拟量转换模块控制电源电压大小；分析检测系统包括工控机、数字量模拟量转换模块、二路示波卡和触摸控制屏，工控机上安装有组态王，用于存储和分析处理探测到的电子信号，并显示所测固体材料的二次电子发射系数与电子枪出射电子能量之间的关系曲线。本发明可以较好地满足工业防静电设计、工程选材及静电预测对固体材料二次电子发射系数测量的需要。

主权项

具有智能测控技术的固体材料二次电子发射系数测试装置，包括机械系统、电气控制系统和分析检测系统；所述机械系统包括真空室、真空泵、电子枪、加热装置；所述电子枪包括依次连接的热阴极、调制极和加速极；所述加热装置包括加热丝和热电偶；所述电气控制系统包括电源、可编程控制器和温控电路；所述电源包括灯丝电源、调制电源、加速电源；所述分析检测系统包括工控机、数字量模拟量模块、二路示波卡和触摸控制屏；可编程控制器与真空泵连接，用于控制真空室的真空度；其特征在于：所述机械系统还包括电子收集装置，电子收集装置与电子枪通过绝缘块连接；所述电子收集装置包括一次电子收集器、二次电子收集器、一次前置放大器、二次前置放大器、靶台及绝缘转轴；所述靶台上表面安装有不锈钢夹具，下表面与绝缘转轴固定连接；绝缘转轴置于一次电子收集器上方，并垂直于一次电子收集器轴线；二次电子收集器为开有小孔的半球状金属壳体，小孔轴线与一次电子收集器轴线重合，所述半球状金属壳体置于绝缘转轴上方；所述一次前置放大器和二次前置放大器分别与一次电子收集器和二次电子收集器连接后，再与二路示波卡、数字量模拟量模块、工控机、触摸控制屏依次连接；所述电子枪还包括与加速极依次连接的一次聚焦腔和二次聚焦腔；所述电源还包括一次聚焦电源和二次聚焦电源；所述电气控制系统还包括数字量模拟量转换模块，可编程控制器与工控机相连接，并且还通过数字量模拟量转换模块连接灯丝电源、调制电源、加速电源、一次聚焦电源和二次聚焦电源，用于控制灯丝电源、调制电源、加速电源、一次聚焦电源和二次聚焦电源分别对电子枪的热阴极、调制极、加速极、一次聚焦腔及二次聚焦腔提供电压及电压大小；所述工控机通过组态王与可编程控制器进行人机交互操作；所述加热装置位于一次电子收集器下方，通过温控电路与可编程控制器相连，用于对一次电子收集器进行加热。