[发明专利]反射镜高精度装夹装置无效
| 申请号： | 201110129356.1 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102162900A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王平;田伟;王汝冬;王立朋;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明是反射镜高精度装夹装置，属于超高精度光学元件检测设备中光学元件的夹持装置领域，解决了超高精度干涉仪系统反射镜装夹问题。该装置主要包括有固定支架、镜框内环、镜框外环、定位支撑结构，压紧结构，所述的镜框内环和镜框外环组成镜框，并将反射镜固定在镜框中，直接与镜框内环接触，镜框内环通过定位支撑结构和压紧结构固定在镜框外环上，定位支撑结构和压紧结构成120度均匀分布，镜框外环在固定支架上，固定支架通过对称布置的底板上的定位孔固定。本发明广泛应用于超高精度光学元件检测设备中反射镜和透镜光学元件的夹持，解决了重力变形对装置精确度的影响，且克服现有技术中夹持装置过约束的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 高精度 装置 | ||
【主权项】：
反射镜高精度装夹装置，其特征是：包括有固定支架(16)、镜框内环(10a)、镜框外环(10b)、定位支撑结构(20)、压紧结构(11)、底板(17)；所述的镜框内环(10a)和镜框外环(10b)组成镜框，并将反射镜(5)固定在镜框中，且反射镜(5)直接与镜框内环(10a)接触；所述的镜框外环(10b)安装在固定支架(16)上，固定支架(16)通过底板(17)上的定位孔(8)固定安装；所述的镜框内环(10a)通过定位支撑结构(20)和与之相对应的压紧结构(11)固定在镜框外环(10b)上；所述的定位支撑结构(20)安装在镜框外环(10b)上，并沿镜框外环(10b)的圆周成120度角均匀分布，与之相对应的压紧结构(11)同时安装在镜框外环(10b)上，并沿镜框外环(10b)的圆周成120度角均匀分布。
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