[发明专利]一种钛掺杂铝酸锌镁薄膜的制备方法及其应用有效
| 申请号： | 201110130612.9 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN102787294A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;王平;陈吉星;黄辉 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58;H01L33/26;H01L33/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518052 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体材料领域，提供一种钛掺杂铝酸锌镁薄膜，所述薄膜的化学通式为MgxZn1-xAl2-yO4:yTi；其中，x的取值范围为0.36～0.75，y的取值范围为0.005～0.06。本发明还提供上述钛掺杂铝酸锌镁薄膜制备方法以及其在半导体光电器件中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 铝酸锌镁 薄膜 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种钛掺杂铝酸锌镁薄膜，其特征在于，所述钛掺杂铝酸锌镁薄膜的化学通式为MgxZn1‑xAl2‑yO4:yTi；其中，x的取值范围为0.36～0.75，y的取值范围为0.005～0.06。
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