[发明专利]可提升太阳能导电玻璃效率的蚀刻技术方法

摘要

本发明提供一种提高光伏电池产能制程装置，其包含：一真空加热腔体，该真空加热腔体设有加热器、干式帮浦；一真空电浆辅助化学气相沉积(PECVD)制程腔体，该真空电浆辅助化学气相沉积制程腔体设有气体供应装置、高频电极、分子涡流帮浦；一真空冷却腔体，该真空冷却腔体设有冷却装置、干式帮浦；藉由本发明之不同腔体作不同加工，俾可同时对复数组待加工物进行不同加工处理，进而提升产能、缩短加工时间、减少成本，达到一种提高光伏电池产能制程装置之目的。

主权项

一种提高光伏电池产能制程装置，此发明特徵在于，包含：一真空加热腔体，其设有加热器、且至少一个以上之干式帮浦，又该真空加热腔体入口处设有可开闭之第一真空封合闸门，真空加热腔体出口处设有可开闭之第二真空封合闸门；一真空电浆辅助化学气相沉积制程腔体，其设有气体供应装置、高频电极、且至少一个以上之分子涡流帮浦，又该真空电浆辅助化学气相沉积制程腔体与真空加热腔体间设有可开闭之第二真空封合闸门，而该真空电浆辅助化学气相沉积制程腔体出口处设有可开闭之第三真空封合闸门；一真空冷却腔体，其设有冷却装置、且至少一个以上之干式帮浦，又该真空冷却腔体与真空电浆辅助化学气相沉积制程腔体间设有可开闭之第三真空封合闸门，而该真空冷却腔体出口处亦设有可开闭之第四真空封合闸门。