[发明专利]多晶硅尾气处理回收纯氢和液态HCL的系统及其工艺无效
| 申请号： | 201110131569.8 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102249187A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 钟雨明;曾启明;牟树荣;张学文 | 申请（专利权）人： | 四川亚连科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B3/52 | 分类号： | C01B3/52;C01B7/07;C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅尾气处理回收纯氢和液态HCL的系统，主要由尾气循环冷凝洗涤塔、氯硅烷气提塔和HCL精馏塔构成，所述尾气循环冷凝洗涤塔安装有多晶硅尾气进管、第一氯硅烷溶液出管和第一氢气出管，且第一氯硅烷溶液出管与氯硅烷气提塔相连；所述氯硅烷气提塔安装有重沸器、第二氯硅烷溶液出管、第一HCL出管和气提回流管，且第一HCL出管和气提回流管均与HCL精馏塔相连；所述HCL精馏塔安装有依次相连的冷凝器、分离器和第二HCL出管，且分离器上安装有不凝气出管。本发明还公开了一种多晶硅尾气处理回收纯氢和液态HCL的工艺。本发明能使多晶硅尾气变废为宝、节约资源，同时降低处理过程中的能源消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 尾气 处理 回收 液态 hcl 系统 及其 工艺 | ||
【主权项】：
多晶硅尾气处理回收纯氢和液态HCL的系统，其特征在于，主要由尾气循环冷凝洗涤塔（1）、氯硅烷气提塔（2）和HCL精馏塔（3）构成，所述尾气循环冷凝洗涤塔（1）安装有多晶硅尾气进管（4）、第一氯硅烷溶液出管（5）和第一氢气出管（6），且第一氯硅烷溶液出管（5）与氯硅烷气提塔（2）相连；所述氯硅烷气提塔（2）安装有重沸器（8）、第二氯硅烷溶液出管（9）、第一HCL出管（10）和气提回流管（11），且第一HCL出管（10）和气提回流管（11）均与HCL精馏塔（3）相连；所述HCL精馏塔（3）安装有依次相连的冷凝器（12）、分离器（13）和第二HCL出管（14），且分离器（13）上安装有不凝气出管（7）。
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