[发明专利]光学位置测量设备有效
| 申请号： | 201110131850.1 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102288113A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | W.霍尔扎普费尔;M.赫尔曼;K.森迪希 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;卢江 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学位置测量设备，其用于检测扫描单元和计量用具的相对位置；扫描单元和计量用具可以沿着弯曲的测量方向彼此相对移动地布置。扫描单元具有至少一个反射器单元和探测器单元，其中反射器单元由第一波前校正器、射束方向逆转器和第二波前校正器构成。反射器单元在扫描单元中被布置和/或构造为使得在部分射束最后到达探测器单元以前，射束首先穿过由计量用具和第一波前校正器构成的第一组合，接着通过射束方向逆转器进行部分射束在计量用具方向的返回反射，并且部分射束然后穿过由计量用具和第二波前校正器构成的第二组合。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位置 测量 设备 | ||
【主权项】：
用于检测扫描单元（20；220；320；420；520；520’；620；2000）和计量用具（10;210;310;410;510;510’;610;1000）的相对位置的光学位置测量设备，其中扫描单元（20；220；320；420；520；520’；620；2000）和计量用具（10;210;310;410;510;510’;610;1000）能够沿着弯曲的测量方向（x）彼此相对移动，并且其中－扫描单元（20；220；320；420；520；520’；620；2000）具有至少一个反射器单元（2000）和探测器单元，并且反射器单元（2000）由第一波前校正器（2100）、射束方向逆转器（2300）和第二波前校正器（2200）构成；以及－反射器单元（2000）在扫描单元（20；220；320；420；520；520’；620；2000）中被布置和/或构造为使得在部分射束最后到达探测器单元以前，射束首先穿过由计量用具（10;210;310;410;510;510’;610;1000）和第一波前校正器（2100）构成的第一组合，接着通过射束方向逆转器（2300）进行部分射束在计量用具方向（10;210;310;410;510;510’;610）的返回反射，并且部分射束然后穿过由计量用具（10;210;310;410;510;510’;610;1000）和第二波前校正器（2200）构成的第二组合，其中－通过反射器单元（2000）保证，通过计量用具（10;210;310;410;510;510’;610;1000）处的第一衍射产生的部分射束的波前变形被转换成这样的波前变形，即该波前变形补偿在计量用具（10;210;310;410;510;510’;610）处发生第二衍射时产生的波前变形。
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