[发明专利]一种锗烷生产系统尾气的处理方法

摘要

本发明针对锗烷生产系统尾气成分为氢气和微量锗烷的特点，提供了一种尾气处理方法，将锗烷生产系统的尾气经由进气口（1）流入分解室（2）、收集室（3）和液封瓶（4）组成的尾气处理装置，最后由出气口（5）连接排放系统排放。尾气流过已预加热的分解室时，所含锗烷受热分解形成金属锗粉，分解形成的超细锗金属粉被气流带入收集室收集，经处理的尾气最后通过装有液体介质的液封瓶吸收掉微量锗粉后排放，实现尾气达标排放和锗的回收。本方法成本低，工艺简单，去除锗烷的效率高，易于实现工业化。

主权项

一种锗烷生产系统尾气的处理方法，其特征在于：将锗烷生产系统的尾气依次流经一套尾气处理装置的分解室、收集室和液封瓶实现尾气处理和锗回收过程；分解室预加热，尾气流过分解室，其中的锗烷受热分解形成锗金属粉；尾气流经收集室，随气流流入收集室的锗金属粉被收集；尾气通过液封瓶时，未收集完全的微量锗金属粉被液体介质进一步吸收。