[发明专利]具有非均匀线宽加热电阻丝的矩形微型加热器及方法无效
| 申请号： | 201110132577.4 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102256387A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 许磊;李铁;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种具有非均匀线宽加热电阻丝的矩形微型加热器及方法，所述的微型加热器包括：衬底框架，矩形加热膜区，支撑悬梁，梯形过渡区，折线形加热电阻丝，引线，接触电极，和隔热腔体。其特征在于矩形加热膜区通过过渡区和支撑悬梁与衬底框架相连，折线形加热电阻丝按照在加热膜区中心处线宽较宽、在加热膜区两端处线宽较窄的方式排布在矩形加热膜区上，并通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的接触电极相连，在矩形加热膜区和支撑悬梁的下方是隔热腔体。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 均匀 加热 电阻丝 矩形 微型 加热器 方法 | ||
【主权项】：
一种具有非均匀线宽加热电阻丝的矩形微型加热器，包括衬底框架，矩形加热膜区，支撑悬梁，梯形过渡区，折线形加热电阻丝，引线，接触电极和隔热腔体；其特征在于：1)矩形加热膜区的两端分别通过一个梯形过渡区与支撑悬梁的一端相连，支撑悬梁的另一端连接衬底框架起到支撑的作用；2)折线形加热电阻丝通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的接触电极相连；3)折线形加热电阻丝以中心对称或左右对称的方式排布在矩形加热膜区上，电阻丝的线宽按照在加热膜区中心处较宽、在加热膜区两端处较窄的方式分布；4)在矩形加热膜区和支撑悬梁的下方是隔热腔体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110132577.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
