[发明专利]用于晶片的测试分选设备有效
| 申请号： | 201110132754.9 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102784760A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 舒晓芬 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/36;G01R31/26;G01N21/89 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶片的测试分选设备，所述测试分选设备包括：连接缓冲冷却模块，所述连接缓冲冷却模块用于接收和传输晶片并冷却所述晶片；测试模块，所述测试模块与所述连接缓冲冷却模块连接，用于接收并测试所述连接缓冲冷却模块所传输的晶片；以及分选模块，所述分选模块与所述测试模块连接，用于对经过所述测试模块测试之后的晶片进行分选。根据本发明实施例的用于晶片的测试分选设备具有结构简单、制造成本低、控制过程简单的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶片 测试 分选 设备 | ||
【主权项】：
一种用于晶片的测试分选设备，其特征在于，包括：连接缓冲冷却模块，所述连接缓冲冷却模块用于接收和传输晶片并冷却所述晶片；测试模块，所述测试模块与所述连接缓冲冷却模块连接，用于接收并测试所述连接缓冲冷却模块所传输的晶片；以及分选模块，所述分选模块与所述测试模块连接，用于对经过所述测试模块测试之后的晶片进行分选。
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