[发明专利]一种电容式微机械陀螺

摘要

本发明公开了一种电容式微机械陀螺，属于微机电系统技术领域。该陀螺质量块15与杠杆12的中心连接；在杠杆12的中心和两个端点之间，对称布有两个支点，支点离杠杆中心的距离h0小于支点离杠杆端点的距离h1；同时，杠杆12的两个端点分别依次连接Y向的敏感传递梁8和X向的敏感弯曲梁9，两根敏感弯曲梁9的另一端则分别与无变形梁16的两个端点连接；固定在无变形梁16上的动梳齿与静梳齿构成敏感检测梳齿对10对完成敏感方向的电容检测。本发明将传统微机械陀螺中的位移检测和杠杆放大技术结合起来，杠杆对质量块在Y方向的位移放大作用为h1/h0，从而增大检测电容的变化量，提高微机械陀螺的灵敏度。

主权项

一种电容式微机械陀螺，包括质量块(15)；定义质量块(15)中心为原点，与质量块(15)一边平行的方向为X向，与另一边平行的方向为Y向，电容式微机械陀螺在X方向上，关于Y轴对称，在Y轴方向上关于X轴对称；其特征在于：所述质量块(15)通过连在其Y向侧边的折叠梁Ⅱ(13)与驱动框架梁(5)连接，驱动框架梁(5)通过折叠梁Ⅰ(7)连接在锚点上；固定在驱动框架梁(5)上的部分驱动动梳齿与固定在驱动电极(3)上的驱动静梳齿构成驱动梳齿对(4)，使得驱动框架梁(5)带动质量块(15)产生X向的往复运动；固定在驱动框架梁(5)上的其他驱动动梳齿与固定在驱动检测电极(1)的驱动检测静梳齿构成驱动检测梳齿对(2)以完成驱动检测；在X向侧边上，质量块(15)通过折叠梁Ⅰ(7)与平行于质量块X向侧边的杠杆(12)的中心连接；在杠杆(12)的中心和两个端点之间，对称布有两个支点，支点离杠杆中心的距离小于支点离杠杆端点的距离，两根Y向的杠杆支点梁(14)分别将所述的两个支点和锚点连接；同时，杠杆(12)的两个端点分别依次连接Y向的敏感传递梁(8)和X向的敏感弯曲梁(9)，两根敏感弯曲梁(9)的另一端则分别与无变形梁(16)的两个端点连接，且敏感弯曲梁(9)的宽度小于无变形梁(16)的宽度；固定在无变形梁(16)上的敏感动梳齿与固定在敏感检测电极(11)上的静梳齿构成敏感检测梳齿对(10)，以完成敏感方向的电容检测。