[发明专利]一种电容式微机械陀螺有效

专利信息
申请号: 201110133079.1 申请日: 2011-05-20
公开(公告)号: CN102221361A 公开(公告)日: 2011-10-19
发明(设计)人: 常洪龙;李小卿;焦文龙;谢建兵;苑伟政 申请(专利权)人: 西北工业大学
主分类号: G01C19/56 分类号: G01C19/56
代理公司: 西北工业大学专利中心 61204 代理人: 吕湘连
地址: 710072 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种电容式微机械陀螺,属于微机电系统技术领域。该陀螺质量块15与杠杆12的中心连接;在杠杆12的中心和两个端点之间,对称布有两个支点,支点离杠杆中心的距离h0小于支点离杠杆端点的距离h1;同时,杠杆12的两个端点分别依次连接Y向的敏感传递梁8和X向的敏感弯曲梁9,两根敏感弯曲梁9的另一端则分别与无变形梁16的两个端点连接;固定在无变形梁16上的动梳齿与静梳齿构成敏感检测梳齿对10对完成敏感方向的电容检测。本发明将传统微机械陀螺中的位移检测和杠杆放大技术结合起来,杠杆对质量块在Y方向的位移放大作用为h1/h0,从而增大检测电容的变化量,提高微机械陀螺的灵敏度。
搜索关键词: 一种 电容 式微 机械 陀螺
【主权项】:
一种电容式微机械陀螺,包括质量块(15);定义质量块(15)中心为原点,与质量块(15)一边平行的方向为X向,与另一边平行的方向为Y向,电容式微机械陀螺在X方向上,关于Y轴对称,在Y轴方向上关于X轴对称;其特征在于:所述质量块(15)通过连在其Y向侧边的折叠梁Ⅱ(13)与驱动框架梁(5)连接,驱动框架梁(5)通过折叠梁Ⅰ(7)连接在锚点上;固定在驱动框架梁(5)上的部分驱动动梳齿与固定在驱动电极(3)上的驱动静梳齿构成驱动梳齿对(4),使得驱动框架梁(5)带动质量块(15)产生X向的往复运动;固定在驱动框架梁(5)上的其他驱动动梳齿与固定在驱动检测电极(1)的驱动检测静梳齿构成驱动检测梳齿对(2)以完成驱动检测;在X向侧边上,质量块(15)通过折叠梁Ⅰ(7)与平行于质量块X向侧边的杠杆(12)的中心连接;在杠杆(12)的中心和两个端点之间,对称布有两个支点,支点离杠杆中心的距离小于支点离杠杆端点的距离,两根Y向的杠杆支点梁(14)分别将所述的两个支点和锚点连接;同时,杠杆(12)的两个端点分别依次连接Y向的敏感传递梁(8)和X向的敏感弯曲梁(9),两根敏感弯曲梁(9)的另一端则分别与无变形梁(16)的两个端点连接,且敏感弯曲梁(9)的宽度小于无变形梁(16)的宽度;固定在无变形梁(16)上的敏感动梳齿与固定在敏感检测电极(11)上的静梳齿构成敏感检测梳齿对(10),以完成敏感方向的电容检测。
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