[发明专利]一种基于周期性纳米结构的生物传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201110133213.8 | 申请日： | 2011-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN102798615A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 李海亮;史丽娜;朱效立;李冬梅;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;B81B7/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于周期性纳米结构的生物传感器及其制备方法。所述生物传感器为表面等离子体共振生物传感器，其包括衬底、贵金属薄膜和周期性纳米结构，所述贵金属薄膜设置于衬底上，所述周期性纳米结构设置于贵金属薄膜上，所述周期性纳米结构包括多行等间距分布且相互平行的通孔结构，所述周期性纳米结构用于提供激发表面等离子体所需的波矢匹配。本发明基于周期性纳米结构的生物传感器能够克服传统生物传感器体积庞大的缺点，提供激发表面等离子体所需的波矢匹配，并且所有的制作工艺同标准的半导体工艺兼容，制作工艺简单，体积较小且易于集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 周期性 纳米 结构 生物 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于周期性纳米结构的生物传感器，其特征在于，所述生物传感器为表面等离子体共振生物传感器，其包括衬底、贵金属薄膜和周期性纳米结构，所述贵金属薄膜设置于衬底上，所述周期性纳米结构设置于贵金属薄膜上，所述周期性纳米结构包括多行等间距分布且相互平行的通孔结构，所述周期性纳米结构用于提供激发表面等离子体所需的波矢匹配。
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