[发明专利]活动玻璃片的非接触式刻蚀

摘要

本发明涉及活动玻璃片的非接触式刻蚀，公开了一种刻蚀柔性玻璃片(13)的方法及其装置，其中该玻璃片(13)以垂直或接近垂直的方向被运输通过非接触式液体喷射支座(3)，该液体喷射支座(3)将刻蚀溶液(例如NaF/H3PO4溶液)施加到玻璃片(13)的一面或两面。在一些实施方式中，最上端的液体喷射支座(3)在玻璃片(13)的顶部边缘的上方，因此能将刻蚀溶液施加到玻璃片的顶部。在其它的实施方式中，设置在该装置的上方并沿着其长度分布的包括一组喷射喷嘴(21)的顶部淋洒器(11)被用于向玻璃片(13)的顶部施加刻蚀溶液。使用本文中的方法及装置，通过熔融工艺生产的玻璃片(13)，其具有大于5平方米的面积和在0.5到1.1纳米范围内的表面粗糙度值。

主权项

一种在基本上垂直的方向上运输玻璃片并同时增加其至少一个主表面的表面粗糙度的方法，包括：(a)提供移动运输器，该移动运输器构造为与玻璃片的底部边缘接触并以一运输速度移动该玻璃片；(b)提供多个非接触式支座，每个支座构造为从多个孔喷射液体；和(c)在从多个非接触式支座喷射液体时使玻璃片的底部边缘与移动的运输器接触并以所述运输速度移动该玻璃片；其中，该液体为刻蚀溶液，并且该方法包括：从(i)设置在玻璃片的顶部边缘的上方的一个或多个非接触式支座，(ii)顶部淋洒器，或(iii)设置在玻璃片的顶部边缘的上方的一个或多个非接触式支座以及顶部淋洒器向玻璃片的顶部施加刻蚀溶液。