[发明专利]一种叉指型背接触式太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及一种叉指型背接触式太阳能电池及其制备方法。所述制备方法包括：对硅片进行表面处理和清洗；在硅片上进行制绒；对硅片进行氧化处理形成保护层保护；在形成保护层的硅片上表面进行掺杂处理；在形成保护层的硅片下表面通过丝印浆料，离子注入形成叉指状的p、n区域；对硅片进行烧结；去残铝并再次清洗；在硅片上形成钝化层；印刷叉指状金属电极对；对硅片进行再次烧结。本发明基于离子注入掺杂和丝网印刷铝浆技术制备太阳能电池，技术简单，明显减少工艺步骤，而且便于与企业现行的P型硅太阳能电池工艺结合，既能提高光电转换效率，降低电池发电成本，又便于推广使用。

主权项

一种叉指型背接触式太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：步骤101：对硅片进行表面处理，并将表面处理后的硅片进行清洗；步骤102：在清洗后的硅片的上表面进行制绒；步骤103：对制绒后的硅片进行氧化处理，在硅片的上表面和下表面形成保护层；步骤104：在形成保护层的硅片上表面进行掺杂处理；步骤105：在形成保护层的硅片下表面丝网印刷浆料；步骤106：在形成保护层的硅片下表面进行掺杂处理，形成叉指状的p、n区域；步骤107：对硅片进行烧结从而激活硅片上、下表面的掺杂，同时形成发射极；步骤108：去残铝并再次清洗；步骤109：在硅片上表面和下表面形成钝化层；步骤110：在硅片下表面印刷叉指状金属电极对；步骤111：对硅片进行烧结从而激活钝化层的钝化作用。