[发明专利]铝掺杂氧化锌溅射靶无效
| 申请号： | 201110136396.9 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102276250A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 尼古劳斯·马戈丹特;圭多·许布里希;保罗·利庞;安克·布朗斯特鲁普 | 申请（专利权）人： | 尤米科尔公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 张珂珂;郭国清 |
| 地址： | 比利时*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 本发明涉及铝掺杂氧化锌溅射靶，具体涉及：一种溅射靶前体材料包括在一个六角形ZnO相中的一个ZnAl2O4相的一个均匀分布，所述ZnO相进一步包括在固溶体中的少于1wt％的元素Al(相对于所述靶材料的总重量来表示)。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 氧化锌 溅射 | ||
【主权项】：
一种陶瓷溅射靶材料，包括在一个六角形ZnO相中的一个ZnAl2O4相的均匀分布，所述ZnO相包括在固溶体中的少于1wt％的元素Al，该值是相对于所述靶材料的总重量来表示的，并且其中在所述靶材料中少于1％的总Al存在于在所述靶材料中的Al2O3晶畴中。
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