[发明专利]硅芯腐蚀工艺无效
| 申请号： | 201110137823.5 | 申请日： | 2011-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN102206822A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 周大荣 | 申请（专利权）人： | 无锡中彩科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/40 | 分类号： | C23F1/40;C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214183 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅芯腐蚀工艺，特征是，包括以下工艺步骤：（1）将硅芯浸泡于碱溶液中浸泡10~20分钟，在浸泡时加入质量百分浓度为0.5~1%的双氧水，碱溶液的温度为50~60℃；（2）一级漂洗：将硅芯放入纯水中漂洗5~10分钟以去除碱溶液；（3）中和：将经一级漂洗后的硅芯放入氢氟酸溶液中浸泡以中和残余的碱溶液；（4）二级漂洗：将经中和处理后的硅芯置于纯水中漂洗5~10分钟以去除氢氟酸溶液；（5）洁净：将经二级漂洗后的硅芯放入用蒸汽加热的纯水中浸泡30~50分钟；（6）烘干：将硅芯置于烘箱中烘干。本发明的优点是：本发明所述方法的成本只有酸腐蚀的一半，且腐蚀液可反复使用；不会产生氮化物污染环境，且对人体不会造成危害。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 工艺 | ||
【主权项】：
一种硅芯腐蚀工艺，其特征是，包括以下工艺步骤：（1）硅芯腐蚀：选取长度为2000~2200mm、直径为8~12mm的硅芯，将硅芯浸泡于碱溶液中浸泡10~20分钟，在浸泡时加入质量百分浓度为0.5~1%的双氧水，碱溶液的温度为50~60℃；所述碱溶液的组份为：氢氧化钾300~350g/L、氟化钠40~50g/L；（2）一级漂洗：将经步骤（1）处理后的硅芯放入纯水中漂洗5~10分钟以去除碱溶液；（3）中和：将经一级漂洗后的硅芯放入氢氟酸溶液中浸泡以中和残余的碱溶液，浸泡时间为2~3分钟，所述氢氟酸溶液的质量百分浓度为5~10%；（4）二级漂洗：将经中和处理后的硅芯置于纯水中漂洗5~10分钟以去除氢氟酸溶液；（5）洁净：将经二级漂洗后的硅芯放入用蒸汽加热的纯水中浸泡30~50分钟，纯水的温度为50~60℃；（6）烘干：将硅芯置于70~80℃的烘箱中烘干，烘干时间为30~60分钟。
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