[发明专利]高硬度高弹性模量TiAlN/AlON纳米多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201110138010.8 | 申请日： | 2011-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN102206808A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 刘平;王均涛;李伟;马凤仓;刘新宽;陈小红;杨丽红 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高硬度高弹性模量TiAlN/AlON纳米多层涂层及其制备方法。所述涂层由多个TiAlN层和AlON层构成，各TiAlN层和AlON层交替沉积在基体上，其总厚度为1.5～2.0μm。其制备方法首先将基体表面抛光处理，经超声波清洗和离子清洗后，再采用反应溅射法在基体上交替溅射TiAlN层和AlON层。本发明的TiAlN/AlON纳米多层涂层不但具有高于35GPa的硬度和高于350GPa的弹性模量，还具有抗高温氧化性能，可作为高速切削刀具及其它高温条件下服役耐磨工件的保护涂层，其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硬度 弹性模量 tialn alon 纳米 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高硬度高弹性模量TiAlN/AlON纳米多层涂层，其特征在于：所述纳米涂层由多个TiAlN层和AlON层构成，各TiAlN层和AlON层交替沉积在基体上；所述基体为金属、硬质合金、陶瓷或塑料。
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