[发明专利]一种带有可纵向推拉的梳齿单元的射频微机械开关

摘要

本发明公开了一种带有可纵向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件，共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和两根细长梁；细长梁通过弹性结构固定连接在下端口顶面，细长梁的顶端与上端口的底面有间隙；驱动部件包括上锚区、下锚区、上梳齿结构和下梳齿结构；上梳齿结构和下梳齿结构均分别包括固定梳齿单元和移动梳齿单元；下梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序与上梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序相反；移动梳齿单元的移动可以使细长梁的顶端和上端口的底面贴合或者分离。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。

主权项

一种带有可纵向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，其特征在于，包括衬底（1）、共面波导传输线和驱动部件；所述的共面波导传输线包括信号线（2）和位于信号线（2）左右两侧的左地线（3）和右地线（4），信号线（2）分别与左地线（3）和右地线（4）之间留有间隙；信号线（2）包括呈纵向布置的上端口（21）和下端口（22），以及处于悬空状态的相对的两根细长梁（23）；左地线（3）、右地线（4）、上端口（21）和下端口（22）分别固定连接在衬底（1）上；细长梁（23）的下部通过弹性结构（231）固定连接在下端口（22）顶面的边缘，细长梁（23）的顶端与上端口（21）的底面有间隙；所述的驱动部件包括上锚区（5）、下锚区（7）、两组上梳齿结构（6）和两组下梳齿结构（8）；上锚区（5）和下锚区（7）呈纵向固定连接在衬底（1）上，并且位于两根细长梁（23）之间；上梳齿结构（6）和下梳齿结构（8）均处于悬空状态，并且每组上梳齿结构（6）和每组下梳齿结构（8）均分别包括设有固定梳齿的固定梳齿单元（61）和设有移动梳齿的移动梳齿单元（62）；在每组上梳齿结构（6）和每组下梳齿结构（8）中，固定梳齿和移动梳齿从上向下交叉分布，并且固定梳齿和移动梳齿之间有间隙；两组上梳齿结构（6）位于上锚区（5）的两侧，在每组上梳齿结构（6）中，固定梳齿单元（61）水平固定连接在上锚区（5）的侧壁上，移动梳齿单元（62）水平固定连接在细长梁（23）上；两组下梳齿结构（8）位于下锚区（7）的两侧，其中固定梳齿单元（61）水平固定连接在下锚区（7）的侧壁上，移动梳齿单元（62）水平固定连接在细长梁（23）上，下梳齿结构（8）中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序与上梳齿结构（6）中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序相反；移动梳齿单元（62）的移动可以使细长梁（23）的顶端和上端口（21）的底面贴合或者分离。