[发明专利]适合于连续化制备高温超导带材的方法有效
申请号: | 201110143711.0 | 申请日: | 2011-05-31 |
公开(公告)号: | CN102306702A | 公开(公告)日: | 2012-01-04 |
发明(设计)人: | 李贻杰 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | H01L39/24 | 分类号: | H01L39/24;C23C28/00 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人: | 王毓理 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种适合于连续化制备高温超导带材的方法,首先制备金属基带,其次在金属基带上生长复合隔离层,然后在复合隔离层上生长超导层,最后在超导层上生长保护层。本发明采用了多靶多通道激光镀膜方法在同一镀膜系统内完成复合隔离层和超导层的原位制备,大大提高了激光利用率和带材制备速度、减少了抽真空时间、提高了设备利用率、降低了固定资产投资强度,从而大大降低了高温超导带材的制造成本。 | ||
搜索关键词: | 适合于 连续 制备 高温 超导 方法 | ||
【主权项】:
一种适合于连续化制备高温超导带材的方法,其特征在于,该方法包含以下步骤:步骤1、金属基带制备;步骤2、采用激光镀膜方法在金属基带上生长复合隔离层;步骤3、采用激光镀膜方法在复合隔离层上生长超导层;步骤4、采用磁控溅射方法在超导层上生长保护层。
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