[发明专利]多光束激光外差二次谐波法测量激光入射角度的装置及方法无效
| 申请号： | 201110144752.1 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102252652A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李彦超;王春晖;高龙;曲杨;张峰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01C1/00 | 分类号： | G01C1/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张宏威 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 多光束激光外差二次谐波法测量激光入射角度的装置及方法，涉及一种测量激光入射角度的装置及方法。它解决了现有采用多光束激光外差测量激光入射角度方法由于激光差频信号采集效果差、信号处理的运算速度慢导致的测量精度较低的问题。本发明通过在光路中加入振镜，使振镜做匀加速振动，对不同时刻入射到其前表面的光进行频率调制，把待测的角度信息加载到外差信号二次谐波的频率差中，进而获得激光入射角度信息。本发明适用于测量激光入射角度。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 激光 外差 二次 谐波 测量 入射 角度 装置 方法 | ||
【主权项】：
多光束激光外差二次谐波法测量激光入射角度的装置，其特征是：它包括H0固体激光器(1)、偏振分束镜PBS(2)、四分之一波片(3)、振镜(4)、平面反射镜(5)、已知厚度的玻璃板(6)、会聚透镜(7)、光电探测器(8)和信号处理系统(9)，H0固体激光器(1)发出的线偏振光经偏振分束镜PBS(2)反射后入射至四分之一波片(3)，经所述四分之一波片(3)透射后的光束入射至振镜(4)的光接收面，经所述振镜(4)反射的光束再次经四分之一波片(3)透射后发送至偏振分束镜PBS(2)，经该偏振分束镜PBS(2)透射后的光束入射至平面反射镜(5)的反射面，经该平面反射镜(5)反射后的光束入射至已知厚度的玻璃板(6)前表面，经该已知厚度的玻璃板(6)前表面透射的光束在该已知厚度的玻璃板(6)内，经该已知厚度的玻璃板(6)后表面与前表面多次反射后获得多束反射光，该多束反射光经该已知厚度的玻璃板(6)的前表面透射之后与经该已知厚度的玻璃板(6)前表面反射后的光束均通过会聚透镜(7)汇聚至光电探测器(8)的光敏面上，所述光电探测器(8)输出电信号给信号处理系统(9)。
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