[发明专利]黑色光敏树脂组合物以及使用其的光阻层有效
申请号: | 201110145446.X | 申请日: | 2011-05-31 |
公开(公告)号: | CN102436142A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 崔玄武;曹惠敬;河喜代司;李春雨;韩圭奭 | 申请(专利权)人: | 第一毛织株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/032;G02B5/20;G02B1/04 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李丙林;张英 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了一种黑色光敏树脂组合物以及使用其的光阻层。该黑色光敏树脂组合物包括(A)有机粘合剂树脂、(B)反应性不饱和化合物、(C)光聚合引发剂、(D)包括炭黑和含银锡合金的黑色颜料、和(E)溶剂。本发明提供了具有不损害加工的高光密度、优良的图案化性能、分辨率和低介电常数的黑色光敏树脂组合物,它可以有效地应用于光阻层。 | ||
搜索关键词: | 黑色 光敏 树脂 组合 以及 使用 光阻层 | ||
【主权项】:
一种黑色光敏树脂组合物,包括:(A)有机粘合剂树脂;(B)反应性不饱和化合物;(C)光聚合引发剂;(D)含有炭黑和含银锡合金的黑色颜料;和(E)溶剂,其中,所述含银锡合金含有的银和锡的重量比为6∶4至8∶2。
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