[发明专利]一种仿真飞蛾复眼光学减反射结构图案的方法和系统

摘要

本发明涉及一种多光束激光干涉技术产生飞蛾复眼周期性减反结构图案的方法和系统，该系统由激光器，扩束准直系统，分束与折光系统，半波片，偏振片，CCD等组成，其特征是用激光干涉系统，将六或六个以上相干激光束组合，对干涉场内的光强度分布进行强弱调制，用调制后重新分布的光强度分布，获得微米或纳米级飞蛾复眼周期性结构图案。用该方法极大程度地实现了飞蛾复眼周期性阵列结构的仿真，并且通过调整干涉系统的入射角及空间角，来调整结构图案的周期和特征尺寸从纳米级到微米级，使纳米级、微米级结构的制造更加便捷，精确实现仿生飞蛾复眼减反结构的制备，从而提高光的吸收效率。

主权项

一种采用六光束激光干涉技术产生飞蛾复眼周期性光学减反射结构图案的方法和系统，其特征在于，系统包括：激光器，扩束准直系统，分束与折光系统，偏振片，半波片，CCD等。由激光器发出的激光束，由分束与折光系统将激光束分成六束相干光，通过系统中每路光中放置的半波片和偏振片的镜组，将六束相干光的各个光路的偏振状态和光强度分别进行控制，使相干光束获得干涉，在CCD或成像表面上形成高仿真度的飞蛾复眼周期性光学减反射结构图案。