[发明专利]一种MEMS微加速度传感器及其应用无效
| 申请号： | 201110145926.6 | 申请日： | 2011-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102298073A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张威;王媛媛;苏卫国 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 张肖琪 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS微加速度传感器及其应用，属于半导体制造技术领域。本发明微加速度传感器包括：敏感质量块、横梁、横梁上的压阻、金属连线、亚焊点及硅衬底，敏感质量块与横梁固定，横梁作为敏感质量块的支撑臂位于加速度传感器的中轴位置，该横梁的底部固定在衬底上。根据本发明设计的微加速度传感器，由于敏感质量块位于横梁两端，使得在施加一定加速度a时，系统通过敏感质量块上下振动，间接增大了敏感质量块的质量M，使得灵敏度S提高，从而在系统体积V比较小的情况下可以测量较高的g值，实现高灵敏度加速度传感器的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 加速度 传感器 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种MEMS微加速度传感器，包括：敏感质量块、横梁、横梁上的压阻、金属连线、亚焊点及硅衬底，其特征在于，上述敏感质量块与横梁固定，横梁作为敏感质量块的支撑臂位于加速度传感器的中轴位置，所述横梁的底部固定在衬底上。
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