[发明专利]一种49U/S石英晶片倒边工艺无效

专利信息
申请号: 201110146524.8 申请日: 2011-06-02
公开(公告)号: CN102335855A 公开(公告)日: 2012-02-01
发明(设计)人: 张杰 申请(专利权)人: 湖北东光电子股份有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06
代理公司: 荆门市首创专利事务所 42107 代理人: 裴作平
地址: 448124 湖北省荆*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种49U/S石英晶片倒边工艺,其工艺为:将49U/S石英晶片放入直径80-90mm、长度350mm的直筒内,将倒边研磨液也放入直筒内,再将直筒放在石英晶片倒边机上,上转速控制在90-100转/分钟,砂号采用GC800#-1000#,环境湿度40%-45%、环境温度25℃±2℃,倒边研磨液由碳化硅、水和防锈剂组成,其重量份配比为:水1000 碳化硅20-30 防锈剂8-12。本发明的优点是:提高了49U/S小公差晶片温度特性的一致性,提高了生产效率,可用于8MHz-10MHz小公差晶片的倒边加工。
搜索关键词: 一种 49 石英 晶片 工艺
【主权项】:
一种49U/S石英晶片倒边工艺,其特征在于其工艺为:将49U/S石英晶片放入直径80‑90mm、长度350mm的直筒内,将倒边研磨液也放入直筒内,再将直筒放在石英晶片倒边机上,上转速控制在90‑100转/分钟,环境湿度40%‑45%、环境温度25℃±2℃,倒边研磨液由碳化硅、水和防锈剂组成,其重量份配比为:水1000 碳化硅20‑30 防锈剂8‑12。
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