[发明专利]一种49U/S石英晶片倒边工艺无效
申请号: | 201110146524.8 | 申请日: | 2011-06-02 |
公开(公告)号: | CN102335855A | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 张杰 | 申请(专利权)人: | 湖北东光电子股份有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06 |
代理公司: | 荆门市首创专利事务所 42107 | 代理人: | 裴作平 |
地址: | 448124 湖北省荆*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种49U/S石英晶片倒边工艺,其工艺为:将49U/S石英晶片放入直径80-90mm、长度350mm的直筒内,将倒边研磨液也放入直筒内,再将直筒放在石英晶片倒边机上,上转速控制在90-100转/分钟,砂号采用GC800#-1000#,环境湿度40%-45%、环境温度25℃±2℃,倒边研磨液由碳化硅、水和防锈剂组成,其重量份配比为:水1000 碳化硅20-30 防锈剂8-12。本发明的优点是:提高了49U/S小公差晶片温度特性的一致性,提高了生产效率,可用于8MHz-10MHz小公差晶片的倒边加工。 | ||
搜索关键词: | 一种 49 石英 晶片 工艺 | ||
【主权项】:
一种49U/S石英晶片倒边工艺,其特征在于其工艺为:将49U/S石英晶片放入直径80‑90mm、长度350mm的直筒内,将倒边研磨液也放入直筒内,再将直筒放在石英晶片倒边机上,上转速控制在90‑100转/分钟,环境湿度40%‑45%、环境温度25℃±2℃,倒边研磨液由碳化硅、水和防锈剂组成,其重量份配比为:水1000 碳化硅20‑30 防锈剂8‑12。
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