[发明专利]离子光学器件的制备方法有效
| 申请号： | 201110146810.4 | 申请日： | 2011-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102810441A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 穆辉;蒋公羽;丁力;李建良;孙文剑 | 申请（专利权）人： | 岛津分析技术研发(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 201201 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种离子光学器件的制备方法，其使用适于磨削加工工艺的硬质材料制作一个基底，该基底至少包含一个平面表面，并包含至少一层绝缘材料。接着，在平面表面上切割出一个或多个直线形沟槽，以在被直线形沟槽分离的平面表面形成多个分立的离子光学电极区域。然后，在平面表面以外的其他基底表面及基底内部导通孔内制作金属引线，以提供各离子光学电极上所需要的电压。使用硬度高的材料配合高精度的机械加工，可以获得较高的精度以及期望的分立电极轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 光学 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种离子光学器件的制备方法，包括以下步骤：使用适于磨削加工工艺的硬质材料制作一个基底，该基底至少包含一个平面表面，并包含至少一层绝缘材料；在所述平面表面上切割出一个或多个直线形沟槽，以在被所述直线形沟槽分离的平面表面形成多个分立的离子光学电极区域；以及在所述平面表面以外的其他基底表面及基底内部导通孔内制作导电引线，以提供各离子光学电极上所需要的电压。
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