[发明专利]一种基于双面表面应力的压阻式微纳传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201110146831.6 | 申请日： | 2011-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN102809452A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 陈滢;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L1/18;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压阻式微纳传感器，用于检测双面表面应力；所述压阻式微纳传感器包括氧化层包裹的微纳双端固支梁以及离子掺杂区域沿厚度方向完全贯穿微纳双端固支梁的压阻，利用微纳双端固支梁双面受到相同的表面应力时沿该梁轴向产生的轴向应力效应进行检测。为适用于检测双面表面应力，将压阻深度贯穿梁厚度；使用微机械加工工艺制作出检测双面表面应力的压阻式微纳传感器。相比于现有的技术，本发明技术方案利用纳米厚度的双端固支梁检测双面表面应力，避免了传统压阻掺杂区域不能超过中性面的限制，同时得到更高的压阻检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双面 表面 应力 式微 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种压阻式微纳传感器，用于检测双面表面应力；其特征在于：所述压阻式微纳传感器包括氧化层包裹的微纳双端固支梁以及离子掺杂区域沿厚度方向完全贯穿微纳双端固支梁的压阻，利用微纳双端固支梁双面受到相同的表面应力时沿该梁轴向产生的轴向应力效应进行检测。
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